壓力傳感器中使用的技術

1.應變壓力傳感器

應變計或箔規技術利用一些材料由于其拉伸或應變的變化而經歷的電阻變化。在這里，該技術使用材料在經歷不同壓力時的電導率變化并計算該差異，然后將其映射到壓力變化。

應變儀是在膜上以Z字形圖案布置的長的導體。拉伸時，其阻力增加。應變計安裝在與應變相同的方向上，通常用四肢形成一個完整的“惠斯通電橋”。壓力傳感器可包含幾個類似的應變儀元件。

2.光纖壓力傳感器

該技術利用光纖的特性來影響在光纖中傳播的光，使得它可以用于形成傳感器。壓力傳感器可以通過使用微型光纖干涉儀來檢測膜的納米級位移。還可以施加壓力以引起光纖損失以形成基于強度的傳感器。

3.機械撓度

該技術利用液體的機械特性來測量其壓力。例如，壓力對彈簧系統的影響和彈簧壓縮的變化可用于測量壓力。

4.半導體壓阻式

為了測量壓力，該技術使用由于壓力變化引起的半導體電導率的變化。

5.微機電系統（MEMS）

在這里，該技術將微電子技術與微型機械系統（如閥門和齒輪）結合在一起，所有這些都在使用納米技術測量壓力的單個半導體芯片上。

6.振動元件（例如硅共振）

為了計算壓力，振動元件用于測量由于壓力變化而在不同材料元件的分子水平上的振動變化。

7.可變電容

由于壓力的變化以計算壓力，該技術利用由于電容器極板之間的距離的變化引起的電容變化。